eGL<vX 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助
VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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)d[8jw" 倾斜平面下的观测条纹 4_^[=p/R Bp?
`yO'[2 /7"I#U^u/ 圆柱面下的观测条纹 33Az$GXFsq >IfV\w32
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