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    [原创]淀积角随镀膜机几何参数的变化计算 [复制链接]

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    离线shenhan0701
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-09
    淀积角随镀膜机几何参数的变化计算 *]x*B@RF  
    计算不同位置处的淀积角大小随DOME的曲率半径、工转架高度、蒸发源距离中心的水平距离等参数而引起的变化 DP7C?}(  
    7W9~1 .SC  
    BwJuYH7QJ$  
    y_}SK6{  
    [ 此帖被shenhan0701在2022-12-09 16:30重新编辑 ]
    共1条评分 ，光币+1
    fupi1419 光币 +1 优秀文章，支持！ 2023-01-09
     
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    离线a013109425
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-12-30
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    离线morningtech
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-12-31
    蒸发角容易计算，考虑进蒸发特性 (^H5EeGV{  
    转一圈积分 9bn2UiJ k  
    再以伞架天顶为基准，归一化。就得到厚度均匀性分布了。 55hyV{L%  
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    离线谭健
    科学家
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-12-31
    学习 不断进步
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-01-06
    这只是理想状态， vfXJYw+6_  
    实际上还要受真空度，离子源放气影响的。 6To:T[ z#  
    不同电子枪的熔形也不同；熔形不同，材料不同，分布就不同。 taCCw2s-8*  
    哪怕是同一种材料，不同的蒸发速率，分布也是不一样的。
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    离线xiezhizhi
    技术员
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-02-01
    左边曲线图标表示什么 \ boL`X  
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    离线kizu123
    实习生
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-04-07
    学习学习
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    离线shunzi130
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-11-09
    只是理论计算，跟电子枪，真空，抽速，温度影响很大
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    离线cxb007007
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-11-15
    学习  好资料
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    离线comebackz
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    只看该作者 9楼 发表于: 2024-07-31
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