[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [复制链接]

机型:OPTORUN1850 1,J.  
AS膜厚15nm. cG'Wh@  
外圈AS可达规水接触角110度，但是内圈都达不到，有什么改善方法吗? {%Y7]*D  
恳求指教!!!

好問題 學習學習

或者增加厚度

厚度不够，换材料

换材料，增加厚度

danieltsai06:真空度是越低较好，还是越高较好? (2022-12-05 11:08)  "0zXpQi,B  

w]o5L  
真空度代表了蒸发源的平均自由程，平均自由程影响分布。 t`t:qko  
真空度越高平均自由程越大，这样到达远端的材料就越多。 mIEaWE;E"  
![ID0}MjJ  
只能说影响分布，具体分布哪部分增多哪部分减少， U] -@yx  
还要看具体的蒸发源位置，伞形，伞的高度，排气口高度等等

联系我   YKWQAZWSX bK$D lBZ  

ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。
m`\i+  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 )4L%zl7  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36)  qzlMn)e  

h6T/0YhWLP  
真空度是越低较好，还是越高较好?

学习看看呢

路过学习看看呢