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ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 `c_Wk]i 如果蒸发源在靠门的位置,那么蒸发的分布应该就比较均匀了。另外真空度也有关系,真空也会影响膜层分布。 ,-Yl%R.W= 你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36) 0a's[>-'A
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danieltsai06:真空度是越低较好,还是越高较好? (2022-12-05 11:08) pt=H?{06
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