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    [求助]蒸鍍AS/AF的問題 [复制链接]

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    离线danieltsai06
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-01
    机型:OPTORUN1850 u:"mq.Q  
    AS膜厚15nm. y{5ZC~Z<!  
    外圈AS可达规水接触角110度，但是内圈都达不到，有什么改善方法吗? 2NI3 &;{4  
    恳求指教!!!
     
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    离线xzaxd
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-12-01
    蒸发源抬高试一试？或者增加厚度
    共1条评分 ，光币+1
    danieltsai06 光币 +1 优秀文章，支持！ 2022-12-05
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    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-12-01
    蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 3*XX@>|o  
    如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。 v lOMB  
    FZb\VUmnV  
    另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 h7kGs^pP  
    你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸
    共1条评分 ，光币+1
    danieltsai06 光币 +1 优秀文章，支持！ 2022-12-05
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    离线谭健
    科学家
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-12-01
    路过学习看看呢
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    离线xiezhizhi
    技术员
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-12-02
    学习看看呢
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    离线danieltsai06
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-12-05
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 Q|rrbxb  
    如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。
    另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 N1jj\.nB  
    你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36)  3b (I~  
    nzmv>s&UW  
    真空度是越低较好，还是越高较好?
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    离线凯歌一万年
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    只看该作者 6楼 发表于: 2022-12-07
    联系我   YKWQAZWSX &Y;z[+(P  
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    离线ouyuu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2022-12-10
    回 danieltsai06 的帖子
    danieltsai06:真空度是越低较好，还是越高较好? (2022-12-05 11:08)  Wg9q_Ql  
    4zX@TI>j  
    真空度代表了蒸发源的平均自由程，平均自由程影响分布。 6 6WAD$8$  
    真空度越高平均自由程越大，这样到达远端的材料就越多。 IF YGl  
    AI}29L3C  
    只能说影响分布，具体分布哪部分增多哪部分减少， | z=:D*uh~  
    还要看具体的蒸发源位置，伞形，伞的高度，排气口高度等等
    共1条评分 ，光币+1
    danieltsai06 光币 +1 - 2022-12-19
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    离线hhjj123
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-02-07
    换材料，增加厚度
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    离线xhj0328
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    只看该作者 9楼 发表于: 2023-02-11
    厚度不够，换材料
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