[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [复制链接]

机型:OPTORUN1850 zXMIDrq  
AS膜厚15nm. ~":?})  
外圈AS可达规水接触角110度，但是内圈都达不到，有什么改善方法吗? 6'?Y]K  
恳求指教!!!

蒸发源抬高试一试？或者增加厚度

蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。  ZYkeW  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。 P
Z
H]9[H  
KqaeRs.u  
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 `EV[uj&1S  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸

路过学习看看呢

学习看看呢

ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 U|-4*l9Ed  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 #B)/d?aa'  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36)  Mwp#.du(  

1S0Hc5vw  
真空度是越低较好，还是越高较好?

联系我   YKWQAZWSX pk: ruf`)  

danieltsai06:真空度是越低较好，还是越高较好? (2022-12-05 11:08)  7s<v06Wo  

D3;^!ln]D  
真空度代表了蒸发源的平均自由程，平均自由程影响分布。 rAn''X6H  
真空度越高平均自由程越大，这样到达远端的材料就越多。 jR}h3!  
(.<Gde#  
只能说影响分布，具体分布哪部分增多哪部分减少， rTDx|pvYx  
还要看具体的蒸发源位置，伞形，伞的高度，排气口高度等等

换材料，增加厚度

厚度不够，换材料