日前,CNIPA公布了华为申请的两项MEMS微镜+激光
模块专利(申请公布号:CN115343836A、CN115343837A),这两项专利分别针对微镜
芯片、微镜组建。
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[!%hE k{'<J(Hb QE pCU) 其中,CN115343836A主要为微镜芯片,该微镜芯片包括:固定框架、可动部件和第一悬臂。通过在第一悬臂上设置凸部,提高了第一悬臂厚度,增大了微镜的振动频率,避免微镜芯片在冲击振动等情况下发生过大形变导致第一悬臂断裂损坏,提升微镜的抗振性能。
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v 'f0R/6h\3s CN115343837A的微镜组件包括:层叠设置的第一限位部件、微镜芯片和第二限位部件。
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