L ?S#3@Pa 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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er2# h y+M9{[ i/O 光栅详细说明 -K0!wrKC
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F?4&qbdD f}Uf*Bp •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
_[y<u}) •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
wU&vkb)k *YP;HL 光栅阶次分析器设置 @E?o~jO(e ]J.|XRp/ •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
sE\Cv2Gx •可以指定各种输出选项。
9*? i89T •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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\!4_m8? +3r4GEa
Z 常规设置 }%S#d&wh$_
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uVzvUz{b @}_Wl<kn •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
+?GsIp@>jh •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
Jmun^Q/h _{?-=<V'_ 单个阶次设置 &>vfm9 (A~w IKY,
1oL3y;>iL fD2)/5j1 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
q4Y7 HE|ym •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
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qu 单个阶次设置 t+A9nvj) M)sAMfuUw
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1F{,Zr \W"p<oo|H 探测器标签页中的输出 (vwKC
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hWRr#030 6sNw#pqh •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
T<o8lL •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
G)&S%R!i\N SX[ 极坐标图中的输出 f^G-ba #? 7g_
{EyWSf" NPLJ*uHH •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
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•它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
y`8jz,&. c2fw;)j&X 极坐标图设置 !Mj28 8Bx58$xRq
=!DpW VsQ YGOhUT | •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。
Z~ u3{ •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。
@81N{tg- kp^q}iS 阶次汇集输出 =&WH9IKz