,A $IFE 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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60]VOQku po\jhfn 光栅详细说明 :*BN>*1^\r
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VcXr!4M F_g(}wE#
q •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
\y%"tJ~N{ •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
DU8\1( ,9}JPv4Z 光栅阶次分析器设置 G6qZ>-GiL .P7q)lj36h •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
(9ZW^flY •可以指定各种输出选项。
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"5|\ •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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O`1!&XT{x R.2i%cU 常规设置 DBHHJD/q
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5+!yXkE^e Te~jYkCd •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
7Hv6>z#m •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
lK7:qo 0tL5t7/Gr 单个阶次设置 <9"@<[[, @BjB
Mi,
V`LE 'E |v@_~HV •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
BTj1C •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
6Iv};f"Y IKnf 单个阶次设置 OmZZTeGg1s 9S17Lr*c
UMBeY[? x1`(Z|RJ
k$m'ebrS.~ 9z{}DBA 探测器标签页中的输出 ^Ss<<
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RA!m,"RM I4w``""c •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
yx&}bu\ •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
^`dMjeF .pe.K3G& 极坐标图中的输出 m(:R (K(je YGM7? o
3hBYx@jTO S{bp'9]$y •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
*^7^g!=z2 •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
'Kkp!eZQ~ YqXN|& 极坐标图设置 PBW_9&