uQiW{Kja2 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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f 2 sK\.yS 光栅详细说明 <b_?[%(u
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J7p?9 GU7f27p •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
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Bv. •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
][B>`gC- jS4fANG 光栅阶次分析器设置 yeIcQ% ="P&!lu •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
!'*1;OQ •可以指定各种输出选项。
[WO>}rGw4 •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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*Ke\Yb {QVs[
J1 常规设置 'wVi>{?
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>r.W \ qKk|2ecTB5 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
FY"csZ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
H0-v^H>^ U:uFrb, 单个阶次设置 v)<|@TD) WT jy"p*
^1;Eq>u f7I!o,/ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
V;uFYt;E •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
+ lZvj=gW Aaz2._:/-m 单个阶次设置 Z4369 *{dMo,.eI
AtNF&=Op /ommM
` NCH^) uA~?z:~= 探测器标签页中的输出 4P^CqD&i
}-~LXL%!3
l`."rei%) mZ~f?{ •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
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