(j(hr'f 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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a"{b}UP e>UU/Ks 光栅详细说明 I{$TMkh[
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i'B$Xr {(IHHA> •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
v'Pbx •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
q:1n=iEi 65vsQ|Zw 光栅阶次分析器设置 ,`8:@<e U
UhlKV|5 •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
6o1[fr •可以指定各种输出选项。
+V9 (4la •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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J^=Xy(3e ?@^gpVK{ 常规设置 :(K JLa]
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,:{+-v( Us\Nmso
z •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
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r •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
/&E]qc*-p DH"_.j 单个阶次设置 yBCLS550 $T_>WUiK
"[sr0'g: mYqLqezAA •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
N>iNz[a
q •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
~uG/F?= Q: g'9~T8i& ^ 单个阶次设置 \"X_zM ,E8g~ZUY9
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o3_us hG}gKs
I :8s 3; [[O4_)?el 探测器标签页中的输出 }&]T0U`@
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I0N~>SpZ5 %v0;1m •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
ex.^V sf_ •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
" eS-i@ !/]z-z2> 极坐标图中的输出 wauM|/KG zj$Ve
4m%Yck{R Lie= DD •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
@o&UF-=MW( •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
KvjH\;78 59(kk; 极坐标图设置 R8Dn
GR !{ !(yP_
_`Dz%(c yQq|!'MK k •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。
CQA^"Ll •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。
mj ,Oy keJ-ohv) 阶次汇集输出 P)[QC wS [k}
.PCbGPbk •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。
lr[&*v?h •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据
A{wk$`vH F<O<=Ww 阶次汇集设置 `a8 &7J( {DX1/49
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'<h@h*R GPAz#0p 阶次汇集设置 p]6/1&t