高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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)-u0n], NI%&Xhn!*> 2. 建模任务 /A4^l]H;+3
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C&1()U hi.`O+; 3. 概述 Uc[@] C||9u}Q< p-S&Wq 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 Nr(t5TP^ 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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j}.,|7X *^@{LwY\M 4. 光线追迹仿真 m) -DrbE nl\l7/}6 K8?]&.! 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
zQ=c6xvm8 点击“Go!”。
*%#Sa~iPo 随即获得3D光线追迹结果
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#sRkKl| $.0l% $ 7 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
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>a< 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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u &qFE=5: 5. 场追迹仿真 =U- w!uW iKVJ
c=C yOdh?:Imv 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
IBn+42V 点击“Go!”。
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u6lcl}' # ^q87y 6. 场追迹结果(相机探测器) "R5! VV 9[@K4&