光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的
系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
FeJ5^Gh. a1&^P1.
CJ >=odK[ %8/$CR 系统内光栅建模 9:WKG'E8a 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。
7dRU7p> 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。
'AU!xG6OQ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
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{zcjTJ=Zt8 #;)7~69 附着光栅堆栈 Qy%/+9L ;DOz92X94 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
VrG |/2 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;
仿真中不考虑孔径效应。
s&l[GKR 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。
/WMLr5 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。
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iJK9-k~ &W%TY:Da| 堆栈的方向 {rDZKy^f \GN5Sy]r 堆栈的方向可以用两种方式指定:
:d;5Q\C` f$/D?q3N 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
e:]$UAzp s?G@k} { 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。
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\]D;HR`vo b]~M$y60q 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 y\:2Re/*Jt mTt 9 o9E 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。
U8dwb 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
x+&&[>-P 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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J' ;tpr LImD]e` 高级选项和信息 )c*~Y=f 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
C<pF13*4 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
Kr<O7t0X 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。
Oj2[(7mO/ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。
Mo/xEB/O ;J:YNup
S'WmPv ;pNfdII( 结构分解 psMagzr&)e CNwhH)* 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
REw3>/= 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
Vo\d&}Q 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。
* PZ=$>r 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
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4DNZ y2`
}E=mZZ) %w@(V([(c 光栅级次通道选择 dZm{?\^_ @ZmpcoDI 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下,也可以有不同的级次。
_CgD7d 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。
D@Q|QY5qic 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
Ai/#C$MY$ 6O"0?wG+
i55']7+0 {kC]x2 U 光栅的角度响应 &,\S<B2. 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
HdGy$m` 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。
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/?JP 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。
{>i'Pb0mG| 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
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例:谐振波导光栅的角响应
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wC[J=:]tA5 &1I0i[R 谐振波导光栅的角响应 4-TM3Cw`d&
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