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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-01
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 2uEI@B  
    0ZjT.Ep  
    n0=]C%wr  
    z}Cjk6z@  
    系统内光栅建模 s^zlBvr|.  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 B!Wp=9)G  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 tKt}]KHV  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 :i!fPNn  
    `&A`&-nc=  
    $jMA(e`Ye0  
    Z)|~  
    附着光栅堆栈 rT` sY  
    4+hNP'e  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 3?B1oIHQ  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ^(TCUY~f&  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 lW c[Q1  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 edMCj  
    d7kE}{,  
    QKP #wR  
         ,?yjsJd.  
    堆栈的方向 J6CSu7Voa  
    |6Y:W$7k  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: C?|sQcCE  
    C)U4Fr ?E:  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ,&,%B|gT]  
    KRxJ2  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 .8QhJHwd  
    W%+02_/)  
    #+o$Tg  
         _qE9]mU  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ]lA}5  
    Y A,. C4=s  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 Y!j/,FU  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 rCa]T@=  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 @2"uJ6o  
    p|gVIsg[-e  
    :WWHEZK  
    FZgf"XM>  
    高级选项和信息 \Yj_U'2"i  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 UhJS=YvT  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 (72%au  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ?xwi2<zz  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 0dwD ?GG2  
    2(!W 9#]  
    =EVB?k ,  
    (tA[]ne2  
    结构分解 EJ {vJZO  
    C)m@/w  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 06HU6d ,  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 z2V ->UK)  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ozsd6&z5l  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 _L)LyQD]T  
    z>+CMH5L)  
    ]iTP5~8U  
    t~qSiHw  
    光栅级次通道选择 w)<.v+u.Y  
    I8i|tQz  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 f]10^y5&  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 L__{U_p  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 yUcU-pQ  
    b:9"nALgC  
    alRz@N  
    ,r3`u2)  
    光栅的角度响应 KYkS ^v  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ,&,XcbJ  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 r!w4Br0  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 a:P+HU:  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 N\ <riS9  
    M%jR`qVFg.  
    yuq o ^i  
    [2Y@O7;n I  
    例:谐振波导光栅的角响应 <>5n;-  
    y+^KVEw  
    'xuxMav6m  
    CNV^,`FX  
    谐振波导光栅的角响应  ~9YEb  
    rLeQB p'  
    "WY5Pzsi:  
     
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