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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-01
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 g9F?j  
    b}ODc]3  
    LKM;T-  
    L}t P_ *  
    系统内光栅建模 EuKkIr/(  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 _"#n%@  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 :f0#4'f  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 76cT}l&.h8  
    3oApazH*  
    ]&"01M~+K  
    >UXNR`?  
    附着光栅堆栈 =AX"'q  
    Aot9^@4])  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 3#{Al[jq  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 +o K*5 Y  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 pE{Ecrc3|  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 "8\2w]"  
    CS;4ysNf  
    =DXN`]uN  
         mv#*%St5  
    堆栈的方向 ~6#O5plKc  
    be HEAQ  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: (~?p`g+I.P  
    ZtX CPA!  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ,-SWrp`f  
    sc y_  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 : CP,DO  
    ~ L"?C  
    5jsZJpk$  
         yXCHBz6&  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 bg^ <e}{<H  
    wT+\:y  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 1;~| [C  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 CEBa,hp@  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 "Ve9\$_s  
    {n(/ c33  
    h*\u0yD)  
    [$ z-  
    高级选项和信息 ~P'i /*:  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 eaDG7+iS  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 sA oxLI  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 x !n8Wx  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 HbJ^L:/  
    A}(o1wuw  
    XmN8S_M>v  
    m%s:4Z%=  
    结构分解 l\ Vr D2j8  
    ?H eUU  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 &"^U=f@v  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 &mm!UJ  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 4u#TKr.  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 I5ZM U  
    4B)%I`  
    1o?uf,H7O  
    "6Z(0 iu:{  
    光栅级次通道选择 E@4/<;eKK  
    e/}4Pt  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 uc/W/c u,  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 w[AL'1s]  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ~JO.h$1C  
    0e1-ZP CDj  
    IRTD(7"oyp  
    R[OXYHu  
    光栅的角度响应 <6X*k{  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 z7TyS.z  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 I moxg+u  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 `4g}(-  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。  45WJb+$  
    ilAhw4A  
    _tE55X&  
    JX{_,2*$  
    例:谐振波导光栅的角响应 ^9kx3Pw?8  
    2+ywl}9  
    w"C,oo3  
    .eLd0{JtN  
    谐振波导光栅的角响应 gFsqCx<q  
    O&,8X-Ix  
    1xInU_SPf  
     
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