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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-01
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 ?w>-ya  
    42.y.LtZ  
    Kq zQLu  
    .2QZe8"  
    系统内光栅建模 7\EY&KI"0  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 <P pW.1w  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 _F tI2G9  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 NFBhnNH+  
    o=I.i>c  
    ew|e66Tw$  
    -X,[NI3  
    附着光栅堆栈 Aiqn6BX{  
    YC =:W  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Qjd<%!]+\  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 }/.GB5Ej  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 w8(z\G_0  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 g I@I.=y  
    p JM&R<i:  
    2D ' $  
         ac#I $V-  
    堆栈的方向 E6s)J -a  
    5HW'nhE  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: j@Y'>3  
    h7o?z!  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 nlR7V.  
    ,2Q5'!o  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 8\$ u/(DX  
    !ZzDSQ ;  
    ko`.nSZ-k  
         uu;1B.[b  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 3s$vaV~(a  
    )]3_o!o  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 {*AYhZ  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 4-~S"T8<u  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 W&;,7T8@  
    G^qt@,n$;  
    Ql{:H5  
    ,!oR"b!  
    高级选项和信息 y}GFtRNG  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 hmr2(f%U  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 L<[%tvV  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ]T1\gv1~  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 J6RzN'j  
    8m 5T  
    LV`tnt's  
    yp"h$  
    结构分解 ID8u&:  
    /DoSU>%hK  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 O7# 8g$ZIv  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 4)NbQ[  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ISi^BFU  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 7L$\S[E  
    ]lZ g }7h  
    EdC/]  
    QpiA~4  
    光栅级次通道选择 fO t?2Bh  
    !6*m<#Qm  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 87yZd8+)  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 BL1d= %2 R  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 /#g P#Z%  
    k8E{pc6;  
    hK 1 H'~c  
    HJt@m &H|  
    光栅的角度响应 {YF(6wVl  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 [K""6D  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 vX<^x2~9(  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 pmgPBiU>  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 jAak,[~;  
    <KBS ;t="1  
    *1g3,NMA  
    >.&E-1[+:  
    例:谐振波导光栅的角响应 SGK 5  
    l-?#oy  
    sMgRpem;  
    =+w!fy  
    谐振波导光栅的角响应 g+3_ $qIQ+  
    !Wz4BBU8o  
    "2z&9`VIY  
     
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