光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的
系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
?w>-ya 42.y.LtZ
KqzQLu .2QZe8" 系统内光栅建模 7\EY&KI"0 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。
<PpW.1w 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。
_F tI2G9 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
NFBhnNH+ o=I.i>c
ew|e66Tw$ -X,[NI3 附着光栅堆栈
Aiqn6BX{ YC =:W 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
Qjd<%!]+\ 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;
仿真中不考虑孔径效应。
}/.GB5Ej 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。
w8(z\G_0 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。
g I@I.=y p JM&R<i:
2D'$ ac#I$V- 堆栈的方向 E6s)J -a 5HW'nhE 堆栈的方向可以用两种方式指定:
j@Y'>3 h7o?z! 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
nlR7V. ,2Q5'!o 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。
8\$u/(DX !ZzDSQ;
ko`.nSZ-k uu;1B.[b 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 3s$vaV~(a )]3_o!o 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。
{*AYhZ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
4-~S"T8<u 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
W&;,7T8@ G^qt@,n$;
Ql{:H5 ,!oR"b! 高级选项和信息 y}GFtRNG 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
hmr 2(f%U 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
L<[%tv V 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。
]T1\gv1~ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。
J6RzN'j 8m 5T
LV`tnt's yp"h$ 结构分解 ID8u&: /DoSU>%hK 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
O7# 8g$ZIv 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
4)NbQ[ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。
ISi^BFU 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
7 L$\S[E ]lZg }7h
EdC/] QpiA~4 光栅级次通道选择 fOt?2Bh !6*m<#Qm 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下,也可以有不同的级次。
87yZd8+) 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。
BL1d=%2R 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
/#g
P#Z% k8E{pc6;
hK 1 H'~c HJt@m
&H| 光栅的角度响应 {YF(6wVl 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
[K""6D 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。
vX<^x2~9( 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。
pmgPBiU> 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
jAak,[~; <KBS ;t="1
*1g3,NMA >.&E-1[+: 例:谐振波导光栅的角响应
SGK
5 l-?#oy
sMgRpem; =+w!fy 谐振波导光栅的角响应 g+3_ $qIQ+
!Wz4BBU8o
"2z&9`VIY