光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的
系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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HaNboYW_K YhKZ|@ 系统内光栅建模 WV<tyx9Z 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。
_uxPx 21g} 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。
m7]hJ,0 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
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Tt# bg1 Do-^S:. 附着光栅堆栈 QOFvsJ<s ~.tvrxg 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
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元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;
仿真中不考虑孔径效应。
P!g-X%ngo 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。
P~C rtTss 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。
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n[+'OU[ qojXrSb"y 堆栈的方向 JMV50 y ,32xcj}j)r 堆栈的方向可以用两种方式指定:
PBqy F :>3=gex@^0 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
@|-OJ4[5 @M;(K<%h 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。
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*dE^-dm# ZXiRw)rM 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 I`B'1"{ L_O$>c 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。
#B}?Zg 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
{eZ{] 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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!>.vh]8g 高级选项和信息 M].8HwC + 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
y=N"=Z 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
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Z 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。
1i|.h 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。
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59 2;W-y 4cgIEw[6 结构分解 n]? WCG}cd kT oOIx 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
>%%=0!,yX 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
gSi5u#}J 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。
70gg4BS 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
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b{[*N y;`eDS'0.N 光栅级次通道选择 %_)zWlN Cnh|D^{s 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下,也可以有不同的级次。
/p`&;/V| 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。
Epjff@7A 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
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MgJ5B(c ocA]M=3~k 光栅的角度响应 "~+.Af 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
/'&;Q7!) 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。
H#(<-)j0_ 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。
n~r 9!m$< 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
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R, 0Oq5 Z5)eREi= 例:谐振波导光栅的角响应
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`lCuU~~ag K&`Awv 谐振波导光栅的角响应 00<{:
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