一、真空室内,以下配件需要尽量避免使用。 $3k5hDA0e
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1.避免使用镀锌件(镀锌螺丝,镀锌的冷压端子),以及含锌的配件(黄铜)JEOL电子枪原配件除外(因为有防护罩) SnRk` 5t
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2.电子枪,离子源等产生电磁场的设备附件,避免使用带磁性配件。 C[gy{40}
除原厂配件之外(原厂配件的磁性在磁场计算之内) ND77(I$3s
区分方法:磁铁吸一下,挑选吸力小的配件 })%WL;~
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3.离子源等高温配件,尽量使用原厂的镀金螺丝(纯金,非装饰金) U:"E:Bxz;m
可避免烧结卡死,并对导电有帮助。 X H,1\J-S
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4.离子源导线尽量使用原厂线,如无原厂,替换时也要注意粗细和长度一致。