衍射光学元件(DOEs)和微
结构表面实现了各种各样的光学功能,如分束器,
光束整形器和扩散器。由于衍射方法,这些元件通常比大多数折射元件更薄和更轻,同时为光学中的许多应用提供了独特和强大的选择。在这个用例中,我们演示了如何在
VirtualLab Fusion中使用微结构和衍射
光学元件(DOE)元件定义这样的元件。
c:#<g/-{wM A8,9^cQ] 在哪里可以找到元件 rP4v_?Zg+ "FuOWI{in 衍射光学元件(DOE)和微结构元件可以在元件 >单一表面 &堆栈中找到。
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这两个元件使用相同的内部求解器,只是为了便于识别和应用而有不同的名称。在这个用例中,我们将展示微结构元件,但一切都可以类似地应用到衍射光学元件(DOE)。
#'`!*VI }YV,uJH[ 微结构元件的功能 SCwAAE9s] mjgwU8'![ 0e./yPTT 对于光通过期望的微结构的传播,微结构元件应用了一一个复数面响应,这意味着元件对所有场入射光的振幅和相位的响应函数。该响应函数既可以直接定义为传输函数,也可以通过应用薄元件近似TEA)对给定的高度剖面进行计算。
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'A`ram 基底界面 Z_b^K^4 j
/d?c5 在固体选项卡上,定义一般
参数,比如特定表面后面的介质,也就是预期结构所在的地方。用户可以利用不同
材料的扩展库来选择,或使用色散公式如赛米尔方程定义自己的材料。
`As|MYv *"cK_MH/o 定义为复数表面响应 'Cki"4%< $~>3bik@ 在通道操作员选项卡上,可以通过设置复数传输函数来定义所需DOE的复杂表面响应...
I+JWDYk ku2gFO 定义为堆栈——真实高度剖面 oJ\)-qSf oZM6%-@qi $qz(9M(m# 微结构的方向 b5!\"v4c hKkUsY=R 应用解算器 c}XuzgSY FEOr'H<3x ^3>Qf 精度系数 4)]w"z0Pc w$5~'Cbi hbZ]DRg 添加背面 '*4>&V.yX $O\I9CGr$ 由于微结构元件只定义了微结构所在的表面,因此为了在基板上配置元件,背面是必要的。这可以通过在元件 > 单一表面&薄膜下添加平面来实现,并配置适当的距离(基板厚度)和材料。
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