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    [技术]泰伯效应 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    {jJUS>  
    在衍射光学中，当周期性结构被准直光照射时，可以观察到在物体后面周期性距离处形成的周期性结构的图像。这就是众所周知的 Talbot 效应（用所谓的 Talbot 距离来描述周期性间隔），它已经在例如光刻中得到了常规应用。 %4imlP  
    FavU"QU&|  
    利用快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion的场跟踪技术，可以充分研究这种效应及其应用。请看下面的例子，在这些例子中，我们用线性和交叉图案演示Talbot效应的基本原理，并更仔细地研究特定的光刻应用，以产生纳米结构。 y%v<Cp@R  
    圆锥相位掩模版的泰伯成像 :-Ho5DHg  
    ubj ~ULA  
         T5Sa9\`>  
    在VirtualLab Fusion中对带有一层圆锥体的相位掩模板进行了严格的建模。检测到不同的Talbot图像，其中柱图案在主图像平面中再现，而孔图案在次图像平面中再现。 k_-=:(Z  
    泰伯效应的建模 0{gvd"q  
    Rr|VGtg  
         N@58R9P<p  
    我们演示了Talbot效应的建模，Talbot效应是一种众所周知的来自周期结构(如光栅)的近场衍射效应。
     
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