23}BW_ m 在
衍射光学中，当周期性
结构被准直光照射时，可以观察到在物体后面周期性距离处形成的周期性结构的图像。这就是众所周知的 Talbot 效应（用所谓的 Talbot 距离来描述周期性间隔），它已经在例如光刻中得到了常规应用。
2vqmsl ? P\22op_te- 利用快速
物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion的场跟踪技术，可以充分研究这种效应及其应用。请看下面的例子，在这些例子中，我们用线性和交叉图案演示Talbot效应的基本
原理，并更仔细地研究特定的光刻应用，以产生
纳米结构。
'R4>CZ%jV 圆锥相位掩模版的泰伯成像 e 8d5(e
aCU7w5 P Pwxk; 在VirtualLab Fusion中对带有一层圆锥体的相位掩模板进行了严格的建模。检测到不同的Talbot图像，其中柱图案在主图像平面中再现，而孔图案在次图像平面中再现。
><;l:RGK| 泰伯效应的建模 cg(QjH"
"pSH!0Ap\ f
MY; 我们演示了Talbot效应的建模，Talbot效应是一种众所周知的来自周期结构(如
光栅)的近场衍射效应。
