如果採用 Code V 軟體,那麼可以用 SAGF 函數計算面深(Sag)量: 6[m~xegG
SAGF(surface_num, zoom_pos, x_coord, y_coord) - Sag of the designated surface at x_coord, y_coord N* gJu
5/.W-Q\pl}
如果想知道的是某一非球面的型狀是否能由干涉儀測量,那麼 Code V 提供兩個函數: f 3UCELJ
jg$qp%7i%
(1) 使用 Zygo 干涉儀 EjP;P}_iK
函數 @VFA(zoom #, surface #, height) )fJ"Hq
Surface is testable for @VFA < 1.0 ~WA@YjQ]
Surface is not testable for @VFA > 1.0 V]zZb-m=
-2hirA<^
(2)使用 QED 干涉儀 QK_5gD`$a,
函數 @SSIa(surface #, zoom #, height) k_pv6YrE
0 <= @SSIa < 0.5 - surface is readily testable y##h(y
0.5 <= @SSIa < 1 - surface is marginally testable Y3 $jNuV
@SSIa >= 1 - surface is difficult to test