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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 %v{1#~u 8gC)5Y
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oq$w4D0Z 光栅详细说明 +}aC-& ]\Xc9N8w
02\JzBU =X-Tcj?3g •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 J[@um: •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 RV+E^pkp$ _1L(7|^~y[ 光栅阶次分析器设置 >$H|:{D I%"'*7U •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 -.iNNM&a •可以指定各种输出选项。
oY=1C} •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 v+=k-;- P`jL]x
}T.?c9l X " xR[mJ@U 常规设置 = 96P7#% g5S?nHS}
HjA_g0u |0.Xl+7 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 XIAeCU •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 LA%bq_>f iiG f'@/ 单个阶次设置 ,=BLnsg y(a!YicA?
&aG*k* ^"i~DC •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 Q@-ovuxi •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 / nZ;v4 G7@O`N8' 单个阶次设置 0F:1\9f5 z42F,4Gk =IjQ4 0W _S@aGw
@=Fi7M U@F)2? 探测器标签页中的输出 RJ4.
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WYrI |^[> bb-q O#E •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 vjT( Q •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 Kw5Lhc1V bh p5< |