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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ~i=5NUE j]
~}ba2dU8 e@L?jBj8m 光栅详细说明 o_?A^u M~-jPY,+
H#B97IGT V#\ iO •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 jo ~p#l.' •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ^\FOMGai +Ec@qP R& 光栅阶次分析器设置 ]-g4Ct_V E7j9A` •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 no8FSqLUS~ •可以指定各种输出选项。 hA387? •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 Te@=8-u- ;{ESo?$*
RaAvPIJa | 9P# <T7 常规设置 B2)SNhF2Y ])mYE
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ePe/@g1K* |oTA$bln •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ' O d_:] •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 FWuk@t[<O )X5en=[)O 单个阶次设置 E(0 [/N~ T<~?7-O"
a'YK1QX xkmqf7w •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 8% `Jf` •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 <jtu/U]78| ~19&s~ 单个阶次设置 THz=_L6 S01Bc ZR@PqS+O/ Dt]*M_
LABLT;c _sC
kBDl- 探测器标签页中的输出 v>p}f"$` #mH4\s
Z)RV6@( k+y>xI, •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 d(;Qe}ok> •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 o :_'R5 KU)~p"0[6] 极坐标图中的输出 jt4c*0z Fq#; _U`1BmTC2 FAF+ } •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 T`SpIdzB. •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 ,|Lf6k ^HI}bS1+| 极坐标图设置 z*OQ4_ ,-_\Y hY>
l]KxUkA+ v= "2p8@F •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 0v'FE35~s •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 qo5WZ
be ahx*Ti/e 阶次汇集输出 0ZjinWkR[ jY ~7- br_D
Orq| •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 /GMT •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 m{C ~91) DNaE 阶次汇集设置 Jevr.& |