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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 =j1rw YEx76 r:Xui- xd H*[ 光栅详细说明 KwiTnP!Dca >_$DKY>$` K}U}h>N nUvxO `2 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 N5=;
PZub •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 nEM>*;iE @u2nG:FG 光栅阶次分析器设置 +cVnF&@$ AhARBgf< •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 Dyj5a($9"{ •可以指定各种输出选项。 Whq@>pX8 •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 0iX;%SPYz pcw^W
/*bS~7f1 [$Ld>`3 常规设置 y3K9rf l*]*.?m/5 e/m,PE ^V~rS8]gj •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 YGObTIGJvf •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 {qCmZn5 Rt<8&.m4 单个阶次设置 g(Jzu' u9FXZK7 qlSc[nEk |Y!#` •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 !0~$u3[b •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 +QIM~tt) EIwTx:{F 单个阶次设置 bO:Ei
P.RlozF5; "|<\\HR @U%I 6 t +!V*{<K +xwz.::: 探测器标签页中的输出 dm& |