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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 l2/@<0P 2Ow<`[7
(#u{ U= w%u5< 光栅详细说明 cjT[P"5$ /djACA
,"H?hFQ ^x3EotQ\ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 AU`OESSI •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 iS0 5YW ZNy9_a:dX 光栅阶次分析器设置 ITvHD-,\ fI}c 71b` •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 =uc^433. •可以指定各种输出选项。 ?!m ma\W •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 K+> V|zKuk 8MQbLj'H
MBO,\t. T{HfP 常规设置 uu@<&.r\C $i%HDt|
88YC0!Ni >w2f8tW`PP •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 swt\Ru6, •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 }K;iJ~kD1 %*p^$5L< 单个阶次设置 E7LbSZ zKMv7;s?
?o>6S
EGW eoL0^cZj •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 ~Jxlj(" 0( •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
P2QRvn6v S5/p=H: 单个阶次设置 H<z30r/-w Gl"wEL* QRiF!D)Nk Q'C4pn@
!p"Kd ~ ZmP1C`> 探测器标签页中的输出 $~ VcQ D:6N9POB
-G!6U2*# 8_Jj+ •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 BArJ"t*/z •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 GJ>ypEWo x' ?.~ 极坐标图中的输出 /rOnm=P+Q +> ^[W~[2 i
_8zjj7 "d:.*2Z2 •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 ~Ji>[#W
K •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 H!#5!m& CP@o,v- 极坐标图设置 %Au T8 +O,V6XRr
yq!CWXZ2 i(z+a6^@| •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 DWdLA~'t •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 $Q#?`j y^, "gD 阶次汇集输出 %qONJP <BQ%8} ud.poh~| •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 EI<"DB •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 svF*@(-P# Qk|( EFQ9 阶次汇集设置 Fr<Pe&d |