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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 XV=S) T4r5s
rl?7W]; M4?8xuC 光栅详细说明 Jq
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n+;vjVS% q8sbn •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 S0LszW)e •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 `*yAiv> #mLuU 光栅阶次分析器设置 ((|IS[ 3taa^e. •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ]1sNmi$T •可以指定各种输出选项。 wqy^8N[K] •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 8Kk\*8 < YH\j@^n
PZ,z15PG] 6Cc7ejt|u 常规设置 A-wRah.M tZA:
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z Z'^ V=}1[^ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 >F3.c%VU]w •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 A#DR9Eq |RhM| i 单个阶次设置 f=`33m5 #$'FSy#
4:1)~z _k2w(ew? •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 ZL_[4Y •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 Z]vL%Gg*! ZHkw6@| 单个阶次设置 }c|U X
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n OwyMJ n?E}b$6 fz}?*vPW
u7=T(4a &5Y_>{, 探测器标签页中的输出 - k`.j it1/3y
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s@!$='| YG[w@u •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 &[j]Bp? •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 ?CY1]d 'fY9a(Xt. 极坐标图中的输出 8&E}n(XE CMl~=[foW -MfQ&U *Km7U-BG •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 ;dQAV\ •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 9DE)S)e8 g`?:=G:a* 极坐标图设置 tu}>:mk zxKCVRJ
Gi7RMql6Q /fwgqFVk •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 =+oZtP-+o •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 gx;O6S{ P}r)wAt 阶次汇集输出 Gr)-5qh x-_vl
9P) o""~jc~ •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 g7V_[R(6 •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 p;%<mUI U5+vN[ K 阶次汇集设置 4JO@BV >t |_zO_F rtp
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