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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 WsL*P.J >72j,0=e
;q6:*H/ K:V_,[gO 光栅详细说明 ]"q)X{G(+ 3:YZC9
bb$1RLyRL v~?d7p{ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 s IY`H^ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 8QE0J$d5 &tj0Z: 光栅阶次分析器设置 J1 a/U@" ya5;C" •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 dum! AO •可以指定各种输出选项。 ,6}HAC $ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 QSW03/_f 245(ajxHC
,`^B!U3m Qa5<go{ 常规设置 yj `b-^$? }C}~)qaZv+
]V6<h Psi ..Zuy|?w •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 \"V7O'S)& •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 !\}Dxt mSY;hJi 单个阶次设置 y"]?TEd 6$4G&'J
@r%[e1. GLcf'$l •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 #@;RJJZg •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 {[jcT>.3j !qV{OXdrB 单个阶次设置 'D1
T"} ;'`T *%:p01&+ f#ID:Ap3
f h)Cz) d0Py[37V 探测器标签页中的输出 ?uc=(J+6 /j0<x^m/
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