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JM0I(% Z% B1N)9% 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 D-9\~gvh } :iBx 建模任务 oFg5aey4 ]pTvMom$6
eR']#Q46{T bC@k>yC- 观测倾斜平面 qZ2&Xw.{1 h
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