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&E+mXEve _qO'(DKylC 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 QG=K^g z}a9%Fb 建模任务 (U B?UJc 8-PHW,1@a3
p>l:^-N;f dJjkH6%} 观测倾斜平面 ,x=S)t |pG%]?A
L"tzUYxg q"e]\Tb=we 观测柱面 YvG=P<_xw sR4B/1'E
oMNSQMlI 8CUlE-R5 观测球面 7tP%tp
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