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R'Ue>k W^09tx/I 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 [NE! S$SCW<LuN 建模任务 AO`@&e]o hbYstK;]Z
zx<t{e7 T%.Yso{ 观测倾斜平面 [GbrKq( _v#puFy
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_t,aPowX I wj[ ^ VirtualLab Fusion的工作流程 N'{Yhx u *[cCY!+Qy :C^{Lc <`-sS]=d} hfJ&o7Dt PJ:!O?KVq
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