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U1>VKP;5Nn \(C_t1 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 G(puC4 "& |^ao,3h# 建模任务 oM@X)6P_ |Q'l&Gt6
5 E%dF9q 0wzq{~\{=_ 观测倾斜平面 ^}-(8~_en SX{6L(
Z]I[?$y O!b > 观测柱面 ;plzJ6> K,>D%mJ
rSYzrVc @+v;B: 观测球面 P|[i{h ]Y3|*t(\
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