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Ei\tn`I& ;LFs.Jc< 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 :8Ql(I R` >z>!) 建模任务 5uvFCY./c iFB {a?BE
5m a(~5 IaYy5Rw 观测倾斜平面 I(0 *cWO OR-fC
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