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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 4|`Bq}sjZf eU N"w,@y o)[2@fRC( #zRbx 设计任务 Iy.rqc/86 !grVR157P
&09U@uc$ z8J."27ND 仅位相透射设计(IFTA) viAMr"z `St.+6^J
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4\& - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] m"9XT)N 构造超光栅 /S\cU`ZVe 分析光栅衍射效率 Y=
7%+WyD - 光栅级次分析 [用例] P &)1Rka 光栅结构参数优化 7DfTfTU6 M@thI%lR
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