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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 iko>G z6@8IszU SkmTW@v &Jj|+P-lY 设计任务 U[x$QG6 m! we`BqZV
E7iAN\vo ;X<Ez5v3 仅位相透射设计(IFTA) PY7H0\S) {f-O~P<Z4
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tNr'@ls tcXXo&ZS 超表面晶胞分析 b-VtQ%Q ^zV_vB)n
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N,3R" VirtualLab Fusion的工作流程 a~jb%i_ 分析超表面晶胞 W;I{4ed6 - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] K'
`qR 构造超光栅 I[|Y
2i 分析光栅衍射效率 M}[Q2v\ - 光栅级次分析 [用例] C8|Ls(4Ck 光栅结构参数优化 z[J=WI PI%l
gq+0t -y!Dg6A VirtualLab Fusion技术 N}U+K [ ?7QmZK HcIJ&".~
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