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    [分享]近红外超透镜的设计与制备 [复制链接]

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    离线gangzi0801
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-14
    关键词: 超透镜
    透镜是基于超表面的成像器件,能够精确调控光的相位、偏振、振幅,具有轻薄、易集成、平面化的优点。针对近红外成像器件的小型化、集成化发展趋势,基于非晶硅材料设计制备了近红外偏振不敏感超透镜。针对超透镜的基元结构选择问题,对比了采用8阶、6阶基元设计的超透镜聚焦效率;为提高加工容差和降低加工难度,采用了最大深宽比为6的8阶基元设计超透镜;针对超透镜仿真与加工之间跨度大的问题,利用化学气相沉积的方法生长了600 nm厚度的多晶硅,利用电子束刻蚀等工艺制备了超透镜样品。测试结果表明:超透镜形貌结构良好,聚集效率为65%。
    附件: 近红外超透镜的设计与制备.rar (1175 K) 下载次数:19 ,售价:2光币[记录]
     
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    离线zju2013mz
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    只看该作者 1楼 发表于: 04-22
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    离线ct423
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    只看该作者 2楼 发表于: 04-28
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