切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1799阅读
    • 0回复

    [技术]离轴高数值孔径抛物面反射镜的聚焦 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统描述 %s&"gWi  
    9(-f)$u  
    ?WEKRl  
     HpCTQ\H  
    亮点 8uh^%La8b.  
    h#:_GNuF  
     |3]#SqX  
    NuEcTww  
     在高数值孔径光学系统中，对PSF进行高速模拟，其中包含偏振效应 rS|nO_9f  
     完全矢量分析（比如对EZ进行计算） {TOz}=R"3h  
     (R^qY"H 2  
    说明：光源 $^K12Wcp-  
    x<Ac\Cx  
    . DrGr:UW  
     h/s8".\  
    说明：离轴抛物面反射镜 8wH1x .  
    c3aBPig\D  
    q1Sr#h|  
     +,q#'wSQG  
    说明：探测器 &P pb2  
    qu`F,OG  
     ;owU]Xk%8K  
    xofxE4.  
    结果：3D光线追迹 zE8qU;  
    ]39])ul  
     /ka "YU  
    j=kz^o~mH  
    结果：完全矢量光场评价 !Bu=?gf  
     k*u4N  
    由于使用高数值孔径聚焦，初始微不足道的场分量有很大的占比。 f^]^IXzXw.  
    Xh?J"kjof  
    "2_nN]%u-  
     k*ZYT6Z?  
    仿真时间：~5秒 W.sH  
    KN< KZM  
     v"x'rx#  
    |Duf 3u  
    结果：PSF计算 Ha/Gn !l  
    偏振：x方向（0°） SYYg 2I  
    k=  
    gg?O0W{  
    LL%s$>c65A  
     1SG^g*mf  
    j&l2n2z  
    结果：PSF计算 Tqm)-|[  
    偏振：x方向（45°） g{e@I;F  
    [&5%$ T  
    {1}p+dEK  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表