切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1803阅读
    • 0回复

    [技术]离轴高数值孔径抛物面反射镜的聚焦 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统描述 IaasHo\  
    =/}X$,@2  
    moG~S]  
     X"<|Z]w  
    亮点 B9#;-QO  
    Mudrg[@ `  
     q qvF-mDN  
    R=$Ls6z  
     在高数值孔径光学系统中，对PSF进行高速模拟，其中包含偏振效应 wW5Yw i  
     完全矢量分析（比如对EZ进行计算） #pA[k -  
     e=>% ^F  
    说明：光源 7I >J$"  
    (STx$cya  
    1<,/ -H  
     >>7aw" 0  
    说明：离轴抛物面反射镜 sE9Ckc5  
    dG0VBE  
    1exfCm  
     CDCC1BG"  
    说明：探测器  hY=I5[*  
    6+PGwCS  
     Gru ALx7  
    X| <yq  
    结果：3D光线追迹 '[f Zt#  
    c0[k T  
     OKPJuV`y6  
    % rcFT_  
    结果：完全矢量光场评价 {ERjeuDm]  
     m =k%,J_  
    由于使用高数值孔径聚焦，初始微不足道的场分量有很大的占比。 r/PKrw sC  
    . #U}q 7X  
    "&-C$J5 Id  
     JXm?2 /  
    仿真时间：~5秒 d+5:Qrr  
    SdI1}&  
     w~N-W8xNR  
    mHs:t{q  
    结果：PSF计算 x+:zq<0|  
    偏振：x方向（0°） 7#pZa.B)k  
    H.~bD[gA  
    RGp'b  
    W4vBf^eC  
     aQ|hi F}  
    ps+:</;Z  
    结果：PSF计算 #T"64%dX  
    偏振：x方向（45°） plXG[1;&G  
    !01i%W'  
    , N 344y  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表