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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 {Uu|NA87Cd  
    {@[z-)N7\,  
    hbdM}"&]  
    aTY\mKk  
    亮点 nz]+G2 h  
    S-6 %mYf  
     1vBXO bk  
    y| %rW  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） +lqX;*a=N  
     严格分析光栅衍射效率 _gF )aE  
     考虑入射光的方向分布 4h~o>(Sq  
    "o[j'  
    说明：光源 i~6qOlLD-  
    F&lvofy23  
    ZjXpMx,  
    )W/ mt[;  
    说明：光束分束器 e'zG=  
    _6 |lw&o07  
    <J QvuC  
    8FThu[  
    说明：检测透镜系统 anTS8b   
    u>.qhtm[  
    h>+,ba"D  
    ^J]~&.l  
    说明：微型晶片 xeX Pc7JG  
    >h7qI-  
    Og`w~!\  
    7x^P74  
    说明：检测物镜 V4 PD]5ZW  
    O?9&6x   
    =q( ;g]e  
    \]W*0t>s  
    说明：探测器 [huS"1  
    8I'c83w  
    M38QA  
    Y\ len  
    结果：3D光线追迹（只有0级） C0X_t  
    %_!YonRY|X  
    +tNu8M@xFo  
    wYJ.F  
    结果：3D光线追迹（所有级） uf (`I  
    *;wPAQE  
    uFIr.U$V  
    sV+/JDl  
    结果：光线追迹 geL)v7t+#  
    <8>gb!DG  
     jd|? aK;(  
    k"V| f&  
    结果：场追迹 Tt.wY=,K  
    hGx)X64Mw  
     "]81+ D  
    V_?5cwZ  
    结果：线性偏振光的场追迹  `k/hC  
    k1HukGa  
    |"vUC/R2&  
     
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