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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 8P,l>HA  
    "^;#f+0  
    1. 建模任务1:金属光栅 j4;Du>obQ  
    iv:,fkwG  
    9p <:=T  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 q*\NRq  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 lijB#1<8*  
    3A-*vaySV  
    2. 建模任务2:介质光栅 `6&`wKz  
    ,{k<JA {  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 8h2D+1,PZC  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 vqq6B/r@Fu  
    WgE@89  
    3. 建模任务
    807al^s x  
    A-Mj|V  
    hZcmP"wgC1  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 jcE Msc  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 vR7ctav  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 WtIMvk  
    ~gP7s_ qr{  
    4. TE和TM照明线性光栅
    "tqnx?pM  
    YWEYHr;%^?  
    5. 铬狭缝的分析 H#OYw#L"u  
    J*5hf:?i  
    a$d:_,\ "  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 <mL%P`Jj  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 BU`ckK\(  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 p"2m90IO  
     红线说明了结构的形状(手动添加) Ua %UbAt  
    %NNj9Bl<VV  
    6. 三角光栅的分析
    jh[ #p?:  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 -$. 0Dc)3!  
    TN5>"? ?"  
    alFNSRY  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 a0PE^U  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 H ( vx/q  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    ML=eL*}l  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 eH %Ja[  
    !v0"$V5+i  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 "?35C !  
    D&/I1=\(  
    7. 总结 ;`DD}j`  
    tAERbiH  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 'r\ 4}Ik  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 P1MvtI4gm  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 30s; }  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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