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测量系统(MSY.0001 v1.1) }kg?A oo b2OVg
+3 应用示例简述 K9v@L6pY= 7I~Ww{ 1. 系统说明 t7 |uZHKK Vl;GQe 光源 [zp v3Uw — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) b2;+a( 元件 SJY<#_b — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Ux_ tHyc/ 探测器 fFD:E} >5 — 干涉条纹 D[. ; H)V 建模/设计 .k5
TQt — 光线追迹:初始系统概览 G#.(%, — 几何场追迹加(GFT+): Uf^zA/33 计算干涉条纹。 !a&@y#x 分析对齐误差的影响。 Kp")
%p# s^KUe%am0 2. 系统说明 m=&j2~<i 0RY{y n3 参考光路 i3I'n* O!+LM{>
F 3. 建模/设计结果 B9`^JYT< p"4i(CWGS f$a%&X6"- 4. 总结 #W#GI"K Q+/:5Z
C 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 %)[m bb QF/A-[V 1. 仿真 a' "4:(L 以光线追迹对干涉仪的仿真。 fsa 2. 计算 c)8V^7=Q 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 U~z`u&/ 3. 研究 EL+6u>\-k 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 loVUB'OSv ?c)PBJ+] 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 XHuY'\;- P+pL2 BA 应用示例详细内容 X%W_cb2 系统参数 l!f/0Rx5 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 $3BCA)5: =E Cw' 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 X%"P0P =T5vu~[J/e 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 6'y+Ev$9 65bLkR{0
2. 说明:光源 !xoN%5! Ws?BAfP e*_8B2da 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 lyiBRMiP| 因此,相干长度大于1m $Gb] K{e 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Tj@}O:q7: 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 REnd#
V2x 6U;pYWht <>GWSW pq[RH-{ 3. 说明:光源 xB{0lI YK *2 Z!Sv/5xx 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 vQ=W<>1 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
2V(ye9 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ~Nf01,F 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 \dj&4u3 4. 说明:光学元件 r{qM!(T {\22C `9t }h<\qvCcU 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 kzr9-$eb 位相延迟平板材料为N-BK7。 DQW^;Ls 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 :T3I" 透镜材料为N-BK7。 R`ajll1 其中心厚度与位相平板厚度相等。 6N(Wv0b $ RC Fb&,51 N'R^S98x 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 |33pf7o 8}Rwf?B *v3/8enf 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Mj |)KDL 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 `+$'bNPn&
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