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测量系统(MSY.0001 v1.1) VAf"B5R n;8[WR) 应用示例简述 hI*gw3V PPO*&=!] 1. 系统说明 @Z> {/ 5BnO-[3 光源 i:W.,w%8 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) $j*%}x~[ 元件 cjfYE] — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 q eLfO 探测器 x? 3U3\W — 干涉条纹 _4F(WC co 建模/设计 h<2o5c| — 光线追迹:初始系统概览 P3X;&iT — 几何场追迹加(GFT+): $Kgw6 计算干涉条纹。 PjZsMHW% 分析对齐误差的影响。 9}4P%>_ mne4u W 2. 系统说明 `Yn:fL7S |kJ'FZZd 参考光路 8A/"ia 6Mu_9UAl` 3. 建模/设计结果 i"mN0% KDr?<"2L |PR8P!' 4. 总结 F#_JcEE UFBggT\ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ^=:e9i3u ;sd[Q01 1. 仿真 HwTb753 以光线追迹对干涉仪的仿真。 !h3$C\ 2. 计算 <$bM*5sHF> 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 9jq}`$S{ 3. 研究 &nkYJi(! 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 D^ZG-WR ;8\w$SPP 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ssaEAm: u6^cLQO+ 应用示例详细内容 _N!L?b83P 系统参数 J%ng8v5ex 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 !5I;3EN 91%QO?hz 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ,aOi:aaZRT T-e'r 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 3z7SK Gy Wno{&I63 2. 说明:光源
kI7c22OJ " B`k `{w.OK 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 2;h4$^`dt 因此,相干长度大于1m q?}
/q 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 |R$V[ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 .j"iJ/ .Z%y16)T Ze+p;v ~[n]la 3. 说明:光源 l;{n"F <u "xHl8Io B(tLV9B3Q 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 x\(@v 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 7A:k 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 wEd+Ds]$ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 9C&Xs nk 4. 说明:光学元件 |v,%!ps UuXq+HYR }!_x\eq^ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 r{NCI 位相延迟平板材料为N-BK7。 Hq<Sg4nz 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 F}9!k LR 透镜材料为N-BK7。 }%e"A4v 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Z;M}.'BE TCShS}q;% WcRTv"4& 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 /QuuBtp ])`+
78 _:dt8+T# 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 vG E;PwR 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 pXn(#n<
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