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1.简介 RI!!?hYm M9.jJf 这个示例演示了一个典型的光束整形的任务。 "A~\$ 展示了可能的期望需求,设计,优化和一个能够生成无散斑高帽的衍射光学元件(DOE)的相位透过率函数的分析。 "diF$Lj rZLTai}`>
2.模拟任务 b2aPo M= VE+Q Y9( J/>Y mi, DOE: {CG%$rh 相位型衍射 F-R4S^eV 光束整形器 G%Hr c 直径:2mmx2mm -8- 形状:圆形 3 q^3znt 相位级次:16 |>5NH'agV iBVV5 f 7<*sP%6bD 3.建模任务:入射光场 oTS*k:
C' TppR \[4]
)o`|t 高斯准直激光光束的光束参数 NTASrh v#q7hw= • 波长:632.8nm )s5Q4m! • 激光光束直径(1/e2):1mm "-C.gqoB 3,DUT{2
$bI VD 1//d68*" 4.建模任务:期望输出光场 +)k%jIi! 0-M.>fwZ= WPs6)8 期望输出场的参数=设计目标图样(DTP): 8iaP(*J Cp`)*P2 • FWHM-直径:0.5mm % 3d59O • 边缘宽度:50um u|&"l • 效率:>95% 87l(a,#J • 信噪比(SNR):>30dB -f@~{rK.L • 杂散光:<5% tGDsZ;3Yr ZX[@P?A+-
`qnSq(tNq FBJw (.Jr 5.设计方案 N9QHX =Y
Je\745 w/BaaF.0 • VirtualLab Fusion的衍射光学工具箱提供不同的辅助会话的编辑器来设计光操控元件-主要是衍射光学元件(DOEs)。 z2*>5c% • 对于当前案例,我们使用衍射光束整形器会话编辑器(Diffractive Beam Shaper session editor)。 !LB#K?I c}v>Mx
A.vWGBR HJWk%t< 6. 衍射光束整形器会话编辑器 M6l S2 qIIc>By(\" C ioM!D • 会话编辑帮助配置实际的设计和优化文档。 ~3bH2,{L[ • 用户必须输入所需的信息 MWTzJGRT - 入射场 TR}ztf[e - 期望的输出场=设计目标图样(DTP) '0|0rwx - 系统参数 DdDwMq - 制造条件 }TE4)vXs 3pg_`
5q4sxY9T TK^9!3 7.设计过程 uflRW+-2 ;%wQnhg zr#n^?m 4+46z|
d h5% K;j}qJvsb ukNB#2" 设计和优化过程由两步完成: 1@" L 1. 基于几何光学进行一个初始的设计。 L
*",4! 2. 基于迭代傅里叶传输算法(IFTA)进行后续的优化。 Zw6UH;5 ~Y;_vU 8.系统模拟 [HO=ii]Wb • 设计和优化后,IFTA文档可以计算感兴趣的优化函数。 )~@iM.}S2 • 同时可以生成相应光路图以用于整个系统的评估。 %*J'!PC9n • 可以通过光路编辑器(Light Path Editor)的工具(Tools)按钮将这个衍射光学工具箱光路图(Diffractive Optics Toolbox LPD)转换成基本工具箱中的光路图以用于进一步的评估,如下图所示。 /A$mP)}tz • 然后用户可以任意修改系统,来进行进一步的分析。 ^}Vx5[ R;D|To!
<;) qyP 3s25Rps 9. 初始几何光学设计的结果 ~d5f]6#` wX?<o IbV 7} '1rHvz`B/" lO)-QE+ 感兴趣的优化函数 Qmbl_# • 效率满足(>95%) j\SvfZ0" • 信噪比不满足(<30db) U42B(ow • 杂散光不满足(>5% %#gHa En&`m \M(#FS *Y"j 0Yob #\DKU@|h 10. 后续IFTA优化后的结果 vfnVN@ 5 FH Hi/yh BBkYc:B=SA #21t8
#0*OkZMt (>.+tq} 感兴趣的优化函数 JY6&CL`C • 效率满足(>95%) s}m.r5 • 信噪比满足(<30db) 0J
\hku\ • 杂散光满足(<5%) .|d2s $)(K7> P 11.总结 XHX$Ur9 • VirtualLab Fusion允许设计,优化和分析衍射光束整形器。 f3bZ*G%f • 用户可以使用辅助会话编辑器或者手动配置所有参数。 j)A$%xUo • 可以生成任意二维场分布,通常是高帽或线。 F@C^nX9 • 制造约束例如高度级的离散数量或者矩形像素可以包含在优化中。 +#$(>6Zu"{ • VirtualLab提供了一个结构设计编辑器以用于加工数据导出。 T][r'jWQ
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