本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 )b^yAzL?
z%ZAN-
在PMMA上镀CR3C2 \ @")2o+
通的气体是AR,C2H2 VK>ZH^-
分光:75%`T ~ m Av)JK
不导电\ dk<) \C"
黑色 4%k{vo5i
机器:磁控溅射 y8oqCe)
] 70V
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 ^FO& GM2a
但做出来不是黑色,而是黄棕色, jVA|Vi_2
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? A7 U]wW9
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? +5AWX,9,-
-M\ ae
谢谢!!
