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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 wZJbI[r  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \hEIQjfi  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1U^KN~!  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 @Cx goX^  
    #W.vX=/*  
    2. 系统 rz`"$g+#  
    ~4twI*f  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    xoGrXt9&  
    3. 透镜系统组件编辑 y!rJ}e  
    p*T[(\8{n  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5:5d=7WX  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 %]4=D)Om  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u]`0QxvZ  
    包括序列光学表面和光学介质。 %BT]h3dcSS  
    C(z 'oi:f  
    tJ8:S@E3,  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 gq4X(rsyD  
    to1r 88X  
    s%>8y\MaK  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \!w |  
    可以选择选取光线的方法: P*U^,Jh<  
    — 在x-y-网格 >M##q?.  
    — 六边形 >pJ#b=  
    — 自由选取 KDV.ZSF7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    7[K3kUm[  
    jP2#w{xq  
    5. 系统的3维视图 T5I#7LN#  
    5Fj9.K~k  
    1A#/70Mo  
    6. 其他系统参数 ^-|~c`&}B  
    系统由单色平面波照明 G+k wG)K  
    照明波长266.08nm ;KEie@Ry  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: [ gZR}E  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 7`^Y*:(  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 3)2{c  
    光束尺寸探测器置于焦平面 %3"U|Za+   
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 R?tjobk!  
    gf9U<J#&C  
    Je2&7uR0  
    `CBXz!v!O  
    9 HlWoHuC  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 $ e,r>tgD  
    QP%Hwt]+  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    xdz 6[8 d8  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    f5{|_]q]  
    loE;q}^  
    )^"V}z t  
    Aho*E9VW  
    _IV!9 JL  
    0M&~;`W}  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $d4&H/u^  
    F+ RE  
    Br42Qo2"T>  
    VirtualLab可用于计算点列图。 X%N!gy  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~ F-lO1  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 CF\wR;6k  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 D&G?Klq  
    ~ISY( &  
    9. 焦平面上的结果 7sWe32  
    v<<ATs%w  
    FU J<gqL  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %4V$')rek  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 o~L(;A]yN  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm `g)  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 HVhd#Q;  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    u?g&(h  
    ^w"hA;  
    10. 总结 cR,'aX  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 so/0f1R?~  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !>=lah$&  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gu~R4 @3  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 mW+5I-~  
     
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