1. 描述 wZJbI[r ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \hEIQjfi ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1U^KN~! ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 @CxgoX^
#W.vX=/* 2. 系统 rz`"$g+# ~4twI*f 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
xoGrXt9& 3. 透镜系统组件编辑 y!rJ}e
p*T[(\8{n
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5:5d=7WX
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 %]4=D)Om
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u]`0QxvZ
■ 包括序列光学表面和光学介质。 %BT]h3dcSS
C(z'oi:f tJ8:S@E3, 4. 光线追迹系统分析器-选项 gq4X(rsyD to1r
88X s%>8y\MaK
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \!w |
■ 可以选择选取光线的方法: P*U^,Jh<
— 在x-y-网格 >M##q?.
— 六边形 >pJ#b=
— 自由选取 KDV.ZSF7
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 7[K3kUm[ jP2#w{xq 5. 系统的3维视图 T5I#7LN# 5Fj9.K~k 1A#/70Mo 6. 其他系统参数 ^-|~c`&}B ■ 系统由单色平面波照明 G+k wG)K ■ 照明波长266.08nm ;KEie@Ry ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: [gZR}E — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 7`^Y*:( — 一个虚拟屏位于焦平面 3)2{c — 光束尺寸探测器置于焦平面 %3"U|Za+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 R?tjobk! gf9U<J#&C Je2&7uR0 `CBXz!v!O 9HlWoHuC 7. 光线追迹系统分析器的结果 $e,r>tgD QP%Hwt]+ 光线经过整个光学系统的三维视图
xdz 6[8d8 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
f5{|_]q] loE;q}^ )^"V}z
t Aho*E9VW _IV!9 JL 0M&~;`W} 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $d4&H/u^ F+ RE Br42Qo2"T>
■ VirtualLab可用于计算点列图。 X%N!gy
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~F-lO1
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 CF\wR;6k
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 D&G?Klq
~ISY( & 9. 焦平面上的结果 7sWe32
v<<ATs%w
FUJ<gqL
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %4V$')rek
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 o~L(;A]yN
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm `g)
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 H Vhd#Q;
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 u?g&(h ^w"hA; 10. 总结 cR,'aX ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 so/0f1R?~ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !>=lah$& ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gu~R4@3 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 mW+5I-~