1. 描述 wl%I(Cw{] ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。
y7.oy" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 SM[VHNr,- ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 NrfAr}v'E
)$QZ",&5 2. 系统 c#8@>; I\$?'q> 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
C9nCSbGMY{ 3. 透镜系统组件编辑 \S)cVp)h
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 zB#.EW
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 v=?/c-J*
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ca#T?HL
■ 包括序列光学表面和光学介质。 z v:o$2Z
ic?(`6N8 !'kr:r}gg 4. 光线追迹系统分析器-选项 *\$ko)x?c 6:`4bo q$jwH]
.
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 9]^NAlno
■ 可以选择选取光线的方法: D]+@pKb
— 在x-y-网格 X ="]q|Z
— 六边形 QzV%m0
— 自由选取 F|?}r3{aJ
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Vu Ey`c Gn 1 5. 系统的3维视图 256V
xn :VlMszy}B3 (4FZK7Fm 6. 其他系统参数 gmtS3, ■ 系统由单色平面波照明 M8f[ ck ■ 照明波长266.08nm "Q;Vy t ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \r-v]]_<d — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Ny]]L — 一个虚拟屏位于焦平面 M~g@y$ — 光束尺寸探测器置于焦平面 P
B{7u ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G Cp90 fs8C ^Ik>~ Fuo.8 }C5Fvy6uz ez[$;> 7. 光线追迹系统分析器的结果 C0H@ <E7y:%L[Go 光线经过整个光学系统的三维视图
<|VV8r93 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
/F}dC/W E{[>j'dwc DU:+D}vl P$"s*otr X^d}eWP`I "QM2YJ55m` 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /1?{,Das= G+K`FUNA oX?~
■ VirtualLab可用于计算点列图。 `6{4?v
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [m9=e-KS$Q
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2\G[U#~bi
L}>ts(!q& 9. 焦平面上的结果 "_ON0._(/
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 KZ|p_{0&
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }XRRM:B|)(
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm QX+&[G!DZH
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 [`bA,)y"
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 CA,2&v" ^fti<Lw5 10. 总结 c1g'l.XL
3 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %wIb@km ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 y1 Y ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 O,0j+1? ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 C59H|
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