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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 wl%I(Cw{]  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。  y7.oy"  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 SM[VHNr,-  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 NrfAr}v'E  
    )$QZ",&5  
    2. 系统 c #8@>;  
    I\$?'q>  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    C9nCSbGMY{  
    3. 透镜系统组件编辑 \S)cVp)h  
    Q^Q6| n  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 zB#.EW  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 v=?/c-J*  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ca#T?HL  
    包括序列光学表面和光学介质。 z v:o$2Z  
    ic?(`6N8  
    !'kr:r}gg  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 *\$ko)x?c  
    6:`4bo  
    q$jwH] .  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 9]^NAlno  
    可以选择选取光线的方法: D]+@pK b  
    — 在x-y-网格 X="]q|Z  
    — 六边形 QzV%m0  
    — 自由选取 F|?}r3{aJ  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Vu Ey`c  
    Gn 1  
    5. 系统的3维视图 256V xn  
    :VlMszy}B3  
    (4FZK7Fm  
    6. 其他系统参数 gmtS3,  
    系统由单色平面波照明 M8f[ck  
    照明波长266.08nm "Q;Vy t  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \r- v]]_<d  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Ny]]L  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 M~g@y$  
    光束尺寸探测器置于焦平面 P B{7u  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 GCp90  
    fs8C ^Ik>~  
    Fuo.8  
    }C5Fvy6uz  
    ez[$;>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 C0H@  
    <E7y:%L[Go  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    <|VV8r93  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    /F}dC/W  
    E{[>j'dwc  
    DU:+D}v l  
    P$"s*otr  
    X^d}eWP`I  
    "QM2YJ55m`  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /1?{,Das=  
    G+K`FUNA  
    oX?~  
    VirtualLab可用于计算点列图。 `6{4?v  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5 $. az  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [m9=e-KS$Q  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2\G[U#~bi  
    L}>ts(!q&  
    9. 焦平面上的结果 "_ON0._(/  
    0t)5KO  
    (YHK,aC>u  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 KZ|p_{0&  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }XRRM:B|)(  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm QX+&[G!DZH  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 [`bA,)y"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    CA ,2&v"  
    ^fti<Lw5  
    10. 总结 c1g'l.XL 3  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %wIb@km  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 y1Y  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 O,0j+1?  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 C59H| S  
     
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