1. 描述 Bx%=EN5. ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r"1A`89 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Q+/R
JM?3@ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 5GUH;o1m
PgqECd)f 2. 系统 Q{`@
G"' kEx8+2s=M 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
hX %s]" 3. 透镜系统组件编辑 78^Y;2 P]W
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )e#fj+>x)
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ^U"
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wbl${@4
■ 包括序列光学表面和光学介质。 I_K[!4~Kn
9c:5t'Qt5. 2;O c^ 4. 光线追迹系统分析器-选项 `2sdZ/fO .M}06,- `$f\ %
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 enWF7`
■ 可以选择选取光线的方法: kaV%0Of]
— 在x-y-网格 .!!79 6hS
— 六边形 dzpj9[
— 自由选取 W6hNJb
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |c]> Q 3s#|Y,{?6R 5. 系统的3维视图 %!>k#F^S 4b]IazL) ,&-S?| 6. 其他系统参数 J: L -15 ■ 系统由单色平面波照明 g2!0vB> ■ 照明波长266.08nm NEZH<# ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 32TP Mk — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Cl%V^xTb — 一个虚拟屏位于焦平面 `6dy
U_f — 光束尺寸探测器置于焦平面 30t:O&2< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 YL;SxLY LqMe'z
R>^5$[ 1VRqz5 pq%t@j(X 7. 光线追迹系统分析器的结果 B b$S^F(Xq o:p{^D@#k 光线经过整个光学系统的三维视图
Q1]V|S;)X 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
p{+tFQy +>n.T Xcs8zT K'>P!R:El /W7&U
=d9 pb,{$A 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 lqhHbB 8JQ<LrIt9
J(H??9(s
■ VirtualLab可用于计算点列图。 [N'r3
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H&"_}
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H@VBP
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $Ui]hA-:?y
]W89.><%14 9. 焦平面上的结果 V3aY]#Su
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C@l +\M(
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 H620vlC}V
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Fj[ dO&
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %Z-Tb OX
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ~hxeD" w
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 iPRJA{$b_ VQZT.^ 10. 总结 A- <.# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 krnvFZRTQ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 o.v,n1Nm ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @y&h4^)z ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 =|DkD-
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