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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 Bx%=EN5.  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r"1A`89  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Q+/R JM?3@  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 5GUH;o1m  
    PgqECd)f  
    2. 系统 Q{`@ G"'  
    kEx8+2s=M  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    hX %s]"  
    3. 透镜系统组件编辑 78^Y;2 P]W  
    /;b.-v&  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )e#fj+>x)  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ^U" q|[qy  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wbl ${@4  
    包括序列光学表面和光学介质。 I_K[!4~Kn  
    9c:5t'Qt5.  
    2;O  c^  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 `2sdZ/fO  
    .M}06,-  
    `$f\ %  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 enWF7`  
    可以选择选取光线的方法: kaV%0Of]  
    — 在x-y-网格 .!!79 6hS  
    — 六边形 dzpj9[  
    — 自由选取 W6h NJb  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    |c]> Q  
    3s#|Y,{?6R  
    5. 系统的3维视图 %!>k#F^S  
    4b]IazL)  
    , &-S?|  
    6. 其他系统参数 J: L-15  
    系统由单色平面波照明 g2!0vB>  
    照明波长266.08nm NEZH<#  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 32TP Mk  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Cl%V^xTb  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 `6dy U_f  
    光束尺寸探测器置于焦平面 30t:O&2<  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 YL; SxLY  
    LqMe'z  
    R>^5$[  
    1VRqz5  
    pq%t@j(X  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Bb$S^F(Xq  
    o:p{^D@#k  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Q1]V|S;)X  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    p{+tFQy  
    +>n. T  
    Xcs8zT  
    K'>P!R:El  
    /W7&U =d9  
     pb,{$A  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 lqhHbB  
    8JQ<LrIt9  
    J(H??9(s  
    VirtualLab可用于计算点列图。 [N'r3  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H&"_}  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H@VBP Q}Q  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $Ui]hA-:?y  
    ]W89.><%14  
    9. 焦平面上的结果 V3aY]#Su  
    7Y|Wy Oq  
    C@l +\M(  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 H620vlC}V  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Fj[ dO&  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm %Z-TbOX  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ~hxeD" w  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    iPRJA{$b_  
    VQZT.^  
    10. 总结 A- <.#  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 krnvFZRTQ  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 o.v,n1Nm  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @ y&h4^)z  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 =|DkD- O  
     
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