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均匀化的概念 &6~nc QWu yx`r;|ds} VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： NjCLL`?f • 微透镜阵列 e[|p0 ,Q • 衍射扩散器 z!uB&2C{k • 计算机生成的全息图 ? >< • 相位板 AS/\IHZ\ • 单元阵列 LRLhS<9
7\|NYT4 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 y:(C=*^<t
光学仿真和设计包括: A16- • 衍射 NnSI)*%' • 干涉 VG*=)8{ • 空间和时间相干度 P PIG?fK) • 像差 SE7 (+r • 偏振 V~%WKQ • 光强 z|4@nqqX
ybuSqFy`$ 应用 mc[_> [m
^FpiQF 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： q;He:vX • 信息显示 `HZHVV$~ • 测量系统 DIcyXZH< • 室内照明 L -oPb) • 汽车 C#u)$D s • 军事 VIlQz M;%^ • 光刻 8^ ZM U{
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< o<Dk 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 d . lu 优点Benefits .4m3@!qo)E
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G_ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： c Dh 4@V • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ~bm2_/RL • 产生任意的二维图案. l Ib>t • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. WFc[F`b • 非常紧凑的照明系统. H]n0JG9K  onypwfIk)t 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： Z`KmH.l!
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. rXX|?9 '
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. t}gqk '
• 可以产生一般的二维图案. c y$$}
• 单色光和白光的整形. +rY0/T_0,
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. o3kj7U:'x
衍射扩散器 ]H[\~J
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： K_}a cU
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. Oa
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• 生成任意的二维图案. _C\b,D}p
• 仅用于单色LED或准分子激光. ZP<X#]$qb
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 op C11c/
单元阵列 ENz eVtw0
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： !
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• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. * ?+!(E
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. [PT_ y3'%
• 产生任意的二维图案. @:I/lg=Qd
• 用于单色光和白光. w[ngkLEA
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 $7,dKC &
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QQ：2987619807 P +SCX#{y
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