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|!cM_& 均匀化的概念 QV8;c^EZ u>.>hQ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: rsD?
;XzH • 微透镜阵列 r12e26_Ab • 衍射扩散器 7
V=%&+ • 计算机生成的全息图 `aL4YH-v • 相位板 MC_i"P6a • 单元阵列 LIh71Vg/cc YR.f`-<Z 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 V4. }wz_Y 光学仿真和设计包括: -:Jn|= • 衍射 ui&^ m, • 干涉 n ==+NL • 空间和时间相干度 Es&'c1$^s • 像差 U=N]XwjVK< • 偏振 W;T(q~XK • 光强 d[&Ah~, p><DA fB 应用 XBos^Q TnLblkX 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: ?>iZ){0, • 信息显示 {%8=qJ3@ • 测量系统 VMW<?V
2Z • 室内照明 QD^"cPC)mM • 汽车 +||[H)qym • 军事 ~!ICBF~j • 光刻 9|2LuHQu+ 8_uh2`+Bvb 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 XaYgl&x'!x 优点Benefits :snn-e0l g&L $5 微光学元件的照明系统有以下几大优点: "yPKdwP • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. lPn&,\9@~ • 产生任意的二维图案. (=w ff5U • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. )}SiM{g • 非常紧凑的照明系统. Yd$64d7,h 5U.,iQ(d 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 1~9AQ[]w8 /[Sy;wn 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: Bk8 '*O/) • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. `*Jw[Bnh8 • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. E']Gh • 可以产生一般的二维图案. %M;{+90p>t • 单色光和白光的整形. R,ddH[3 (1}"I
RX. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. c$]NXKcA 衍射扩散器 :]-? l4(% ZUUfn~ORc 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: ?mW;%d~] • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). qYR+qSAJP • 生成任意的二维图案. !FR1yO'd> • 仅用于单色LED或准分子激光. k<\]={|= >jBnNA@ 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 JulxFjC 单元阵列 pI{s
)|" s*W)BK|+? 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: m&Lc." • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. dM3V2TT • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. POvpaPAZ< • 产生任意的二维图案. }lt]]094, • 用于单色光和白光. .
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 Eb=;D1)y] }V
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