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X(dHhO 均匀化的概念 {~{</ g/ b|E1>TkY VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: 6:3F,!J! • 微透镜阵列 =L9;8THY • 衍射扩散器 'Z82+uU% • 计算机生成的全息图 qfa[KD)!aB • 相位板 Ot([5/K • 单元阵列 ;|AyP hYY-Eq4TC 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 D9;s% 光学仿真和设计包括: M.0N`NmS • 衍射 X].Igb)2 • 干涉 Yu_`
>so • 空间和时间相干度 <0!)}O • 像差 kJK:1;CM?. • 偏振 q^^&nz<A • 光强 Dx>~^ ^< w
.+B h 应用 y7/=-~ #5=!ew 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: dO|n[/qL0 • 信息显示 'q, L* • 测量系统 -cs$E2
- • 室内照明 "HrZv+{ • 汽车 H-5h-p k • 军事 OoOr@5g • 光刻 Hwiftx h7cE"m 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 PpWdZ 优点Benefits *!&,)'' 8Q\ T,C 微光学元件的照明系统有以下几大优点: ZZJ<JdD • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. }CB9H$FkCY • 产生任意的二维图案. =q?s B]n • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. tde&w=ec • 非常紧凑的照明系统. EJaGz\\ M:d }
P 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 26[m7\O 9M Ug/ 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: Bl/Z _@ • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. FN"Ye*d • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. :3.!?mOe2 • 可以产生一般的二维图案. t2RL|$>F1 • 单色光和白光的整形. 7Kn}KO!Y8
L#Rj~&U 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. prO ~g 衍射扩散器 xa$4P [ S- JD}+9 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: !]2`dp\! • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). rYPj3!# • 生成任意的二维图案. f=T&$tZ< • 仅用于单色LED或准分子激光. cs7K^D;.V
Da&Brm 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 VX]Ud\( 单元阵列 k4`(7Z "T1A$DKw+R 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: =}
flmUv~ • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. KkyZd9 • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. a|kEza,] • 产生任意的二维图案. ]qO*(m:}o • 用于单色光和白光. [,Fu2j]
Y?xc#' 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 LXf* u
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