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均匀化的概念 qY o"-D* 0qP&hybL[( VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： ETU.v*HT] • 微透镜阵列 x?s5vx AKf • 衍射扩散器 k\->uSU9 • 计算机生成的全息图 4 Ufx,] • 相位板 =P'33)
\ ) • 单元阵列 |^ !#x Tj
fXfBDB 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 _
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光学仿真和设计包括: PL vz1}ts • 衍射 Pf,S`U w; • 干涉 L(Ww6oj • 空间和时间相干度
/tIR }qK • 像差 $p_FrN{ • 偏振 T.ZPpxY • 光强 xW|^2k
WZ}je!8 2 应用 }{FKs!(4
CbPCj.MH 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： ]MI> "hn • 信息显示 Twqkd8[ • 测量系统 % 1f, 8BM • 室内照明 ?}f+PP, • 汽车 ]LG p3)T- • 军事 RSL%< • 光刻 iMgfF_r
[HEqMBX=; 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 Xxl>,QUA 优点Benefits oh%kuO T[
~vf&JH'! 微光学元件的照明系统有以下几大优点： f1eY2Ut WQ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. JtB"Dh • 产生任意的二维图案. z ^(6>U
? • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 31 BN ?q • 非常紧凑的照明系统. ?gZJ v  5<0d2bK$ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： Y-8qAF?SJ]
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. !A R$JUn X
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. iQ[0d.(A
• 可以产生一般的二维图案. TWv${m zE
• 单色光和白光的整形. [w iI
 q; I` &JK
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ONx|c'0 g
衍射扩散器 lHYu- }TNP
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： >v4k _JX
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. Ef fp^7 3
• 生成任意的二维图案. P1P P#>E-2
• 仅用于单色LED或准分子激光. zs +[Aco)
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 `
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单元阵列 A<6V$e$:2
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： +B*8$^,V)
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. FV[6">;g
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ++KY+j.^
• 产生任意的二维图案. =hV-E
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• 用于单色光和白光. f;/t7=>d
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 Pn{yk`6E
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QQ：2987619807 b0a'Y"oef4
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