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均匀化的概念 [O (m/ ,'u *ZB; VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： N0 nj ` • 微透镜阵列 ;e d#+$Na • 衍射扩散器 z4bN)W )p • 计算机生成的全息图 \Yd4gaY\o • 相位板 Nfg{,/ O • 单元阵列 JwB"\&'1ZS
d @m\f 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 -; vT<G3
光学仿真和设计包括: l~NEGb • 衍射 *Z > • 干涉 *U_S1>0n • 空间和时间相干度 se#@ )LtZ • 像差 f9a$$nb3` • 偏振 =MxpH+spI • 光强 Xo \S9,s{
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B 应用 Je 31".
*,0+RAS vq 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： ?,>5[Ha^? • 信息显示 M1EOnq4- • 测量系统 Y([d;_#P • 室内照明 i-]U+m* • 汽车 O>%$q8x@i • 军事 |g!`\@O • 光刻 4v Lw?_".
Wxn#Rk#> 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 .;g}%C 优点Benefits #3+~.,X9
p 31oL{D 微光学元件的照明系统有以下几大优点： )b9_C
O} • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. !VRo *[yD@ • 产生任意的二维图案. uFo/s&6K • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. "Vy WT • 非常紧凑的照明系统. s&VOwU  e1UITjy 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
H99xZxHZ{
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： xCq' [9oU
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. X$^JAZ09
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. #ua^{OrC/
• 可以产生一般的二维图案. G,|KL" H6
• 单色光和白光的整形. -?z\5 z
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. |z*>ixK
衍射扩散器 >Nh`rkR2[
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： Ha)np
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. iD714+N(
• 生成任意的二维图案. G?ig1PB"#
• 仅用于单色LED或准分子激光. p/&HUQQk
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 o0mJy'
单元阵列 ^1 ;BiQ
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： 2M&$Wu u.q
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. Mq'I kSt'
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ]]PE#DD g
• 产生任意的二维图案. $DE&J4K
• 用于单色光和白光. `ET& VV
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ,H{= {aln
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QQ：2987619807 F 7LiG9H6`
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