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均匀化的概念 "!9~77 >A7),6 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： <dLdSE w • 微透镜阵列 "ALR)s,1, • 衍射扩散器 #Kn=Q • 计算机生成的全息图
9 k)?- • 相位板 !! %vs
6 • 单元阵列 \[% [`m
6Z\[{S]; 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 ~^w;`~L
光学仿真和设计包括: O}*[@uv/ • 衍射 LK)0g 4{ • 干涉 `LEk/b1(P • 空间和时间相干度 -A[i TI" • 像差 i:ZpAo+Z { • 偏振 i$?i1z*c} • 光强 {ckA
#K yb9Qg 应用 V+W,# 5
X0 *
y8" 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： e(@ YBQ/Z • 信息显示 XuVbi=pN.2 • 测量系统 bT@ 3fuL4 • 室内照明 EXK~Zf|&Z • 汽车 Ha)eeE$ • 军事 (B.J8`h } • 光刻 q UY;CEf
V)^ nVD)e 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 oQBfDD0 优点Benefits wwF]+w%lOw
q %]0%S? 微光学元件的照明系统有以下几大优点： >}\!'3)_ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. M@[ {j • 产生任意的二维图案. 7N+No.vR. • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. H^Ik FEVs • 非常紧凑的照明系统. Qb!9QlW  g |a2z_R 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
~3dB t@%0
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： ff**) Xdh
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. Wo<zvut8
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. DI'wZySS^
• 可以产生一般的二维图案. fT!n* ;h
• 单色光和白光的整形. v<,? %(g)7
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. v[T5D :
衍射扩散器 iEux`CcJ.
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O=`
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 2_6x2I a4
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. '=Ea Z>=
• 生成任意的二维图案. )f>s\T
• 仅用于单色LED或准分子激光. f*04=R?w7>
 V/j+Z1ZW
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 0.4c|-n
单元阵列 RcitW;{|Kg
lwIU|T<4
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： ~T7\lJ{%G
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. *IJctYJaX
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. NYz{ [LM
• 产生任意的二维图案. rLGh>bw#`3
• 用于单色光和白光. n qg=I
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 Lj6$?( x}
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QQ：2987619807 JeU|e$I4>
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