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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟
mCEKEX n@ yd{Rc 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 x~3>1Wr#M
#b]}cwd! 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 f:)K
LyCV_6;D 要求工具箱：光栅工具箱 `Tm 8TZd66
W~W?<%@ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 `*uuB ; ~gzpX,{ n 一、模拟任务： nKZRq&~^E 二、光栅的描述 S+e-b'++?
'%JM nU 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 &H p \("
Wb}0-U{S' 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 *$WiJ 3'(m
['9OGV\ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 )Or:wFSMq
$48[!QE 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” [{.\UkV@
WLj_Zo*^x 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 tM?I()Y&P
OU
Yb- 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 PauFuzPP w~FO: / F4aJr%!\6S !&`7 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm T l0+Bq Y9(i}uTi []]LyWk 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm >f 9]Nj |SJ%
_#=i eJw ii
4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 6I6ZVSxb |RbUmuj 56~da ){gd 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm B )3SiU K+ aJ`V oq m{<g?2 5. 参数运行 V[2<ha[n>
CB7R{~
$ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 m`4j|5
u
B W 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ! C) > *IfIRR>3l( 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ]a@v)aa- $@
#G+QQ_ #$
raUNr B2+_F"<; 7. 总结 Jut'xA2Dr
'k ONb 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 (V |q\XS
, ?s k J 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 C&MqUj"]
:ftyNaq' 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 qcoZ2VJ hh &wWGZ ~T
fVe-esAw QQ：2987619807 =P+wp{?AN|
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