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摘要 h"Q&E'0d /#?i +z 在此示例中,针对特定入射角研究了F-theta物镜的焦点(PSF)。为了避免因离焦照明导致的焦点偏移而引入的额外计算量,根据光的主传播方向来移动探测器位置。使用VirtualLab的参数耦合工具自动调整探测器的位置。 ]p~,C*UH0 ?DJ,YY9P
|fm"{$u -Ar 3>d 建模任务 "[]72PC ;0++):30V
}EHmVPe 8,(5Q 通过参数耦合自动定位探测器 ?Wp{tB9N0 ps?B;P 参数耦合允许用户通过一个小脚本“片段”定义所需系统参数的变化。 ^S`c-N 因此,独立输入参数值的任何变化都会同时导致从属(耦合)参数的变化。 C[(Exe 在此示例中,我们将所需检测器的横向位置与主光线的位置重合。 v~HfA)#JK K<tkNWasQ
,t>/_pI+= FY]z*= 参数耦合过程 nbz?D_ 为了找到探测器的适当横向位置,通过应用参数耦合代码段执行附加的光线追迹步骤。可以导入此特定代码段: ~4~>;e mh`VZQ@
-n$fh::^ Eq/%k $6#1 探测器索引选择 3&JsYQu !~k-Sexh 必须在代码片段的specification选项卡中指定探测器的唯一索引。 t%<d}QuHW WAcQRa~C
M3dNG]3E G@QZmuj&KH 斜入射 ^Q4m1?
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Et9 现在,如果改变平面波光源的传播方向,探测器的位置就会自动调整。在此示例中,15°的角度将导致x方向上26.3mm的偏移。 PDssEb7 a|@^N 性能评估 - 斜入射 G%K<YyAP v
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Eyu?T 轴上&离轴照明 vrIM!~*W eESJk14 在离轴照明的情况下,探测器的位置也会自动调整。在此示例中,100μm的位移是由参数耦合自动考虑的。 P
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) =X2EF 性能评估 - 离轴照明 ]7^YPFc+ 2FS,B\d a8%/Xwr~ ~Hs a6F&F VirtualLab Fusion技术 8P'>%G<m =`rESb[
rf8`|9h"7 =GjxqIv 文件信息 ~>ACMO i5*sG^<$H
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