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摘要 #)]/wqPoW B]Ec 在此示例中,针对特定入射角研究了F-theta物镜的焦点(PSF)。为了避免因离焦照明导致的焦点偏移而引入的额外计算量,根据光的主传播方向来移动探测器位置。使用VirtualLab的参数耦合工具自动调整探测器的位置。 AlkHf]oB lcgG5/82
VL'wrgk WWo"De@ 建模任务 0rm(i*Q #9~,d<H
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4Z+8* (U_HX2f 通过参数耦合自动定位探测器 ]lqZ9rO rS8\Vf]F 参数耦合允许用户通过一个小脚本“片段”定义所需系统参数的变化。 Upcx@zJ 因此,独立输入参数值的任何变化都会同时导致从属(耦合)参数的变化。 !hHX8TD^J 在此示例中,我们将所需检测器的横向位置与主光线的位置重合。 ]cVDXLj$ kGYsjhL\d
`"<hO
'WU }^j8< 参数耦合过程 e4tC[6 ; 为了找到探测器的适当横向位置,通过应用参数耦合代码段执行附加的光线追迹步骤。可以导入此特定代码段:
]qu6/Z )=MK&72r
d2^/ *<6dB#'
J 探测器索引选择 $R+gA{49% 3IB9-wG 必须在代码片段的specification选项卡中指定探测器的唯一索引。 WWH<s%C y,6kL2DM
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] lU 7J
?s&x 斜入射 Q"GM3? c_?^:xs:d
<W) F{N? 8#- Nx]VM 现在,如果改变平面波光源的传播方向,探测器的位置就会自动调整。在此示例中,15°的角度将导致x方向上26.3mm的偏移。 xXa4t4gR ,^Q~w
b!{ 性能评估 - 斜入射 " a,4E{7 1~3dX[&
>VQLC&u(
;Q4,I[?% 轴上&离轴照明 * fj`+J CQ^(/B^c 在离轴照明的情况下,探测器的位置也会自动调整。在此示例中,100μm的位移是由参数耦合自动考虑的。 +"bi]^\z udIm}jRA"
ZbjUOlE02 b18f=<# 性能评估 - 离轴照明 !!)$?R;1 4[MTEBx R[S1<m; `wU['{= VirtualLab Fusion技术 a?8)47) +R HiX!PG
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tv 文件信息 (Z[c7 Sy4|JM-5
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