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摘要 ?6F\cl0. 8(euWS 在此示例中,针对特定入射角研究了F-theta物镜的焦点(PSF)。为了避免因离焦照明导致的焦点偏移而引入的额外计算量,根据光的主传播方向来移动探测器位置。使用VirtualLab的参数耦合工具自动调整探测器的位置。 ZzNp#FrX" a'zf8id
9"3 7va db%o3>>e 建模任务 ]E\o<"#t/ FabzP_<b
tO$/|B74Bz zU;%s<(p 通过参数耦合自动定位探测器 O9#8%p%
) xt7ZrT 参数耦合允许用户通过一个小脚本“片段”定义所需系统参数的变化。 dC$z q~q 因此,独立输入参数值的任何变化都会同时导致从属(耦合)参数的变化。 `;yfSoY 在此示例中,我们将所需检测器的横向位置与主光线的位置重合。 J|-X?V;ZW fD<9k
59;p| owDp?Sy}E 参数耦合过程 ~ [k0ay 为了找到探测器的适当横向位置,通过应用参数耦合代码段执行附加的光线追迹步骤。可以导入此特定代码段: #d,+87]\= b!C\J
1&JPyW Y[l*>}:w 探测器索引选择 ztcV[{[g 5hN`}Ve 必须在代码片段的specification选项卡中指定探测器的唯一索引。 6;WfsG5 $9!2c /
.v?x>iV \':'8:E 斜入射 K(
: NshM s9R#rwIc
5eP8nn.D {O ]^8#v^ 现在,如果改变平面波光源的传播方向,探测器的位置就会自动调整。在此示例中,15°的角度将导致x方向上26.3mm的偏移。 \$.8iTr@ OPVF)@"ptM 性能评估 - 斜入射 {t<E*5N]a .ME>ICA
}^!8I7J. F xek# 轴上&离轴照明 e
:(7$jo pZo:\n5o 在离轴照明的情况下,探测器的位置也会自动调整。在此示例中,100μm的位移是由参数耦合自动考虑的。 #|<\q* < >|{n";n&
1:!_AU? w; [ndZCY7 性能评估 - 离轴照明 >KPxksFR8 7Gwn ,&) b`a4SfbQS ?A4zIJ\ VirtualLab Fusion技术 d 8YP<"V& 7s8-Uwl<
'%Cc!63t* +,7nsWV 文件信息 HQtR;[1 b 6kDkE
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